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晶圆雾度在线检测方案

随着半导体技术的不断发展,对晶圆衬底的表面质量要求越来越高。晶圆抛光雾是高质量抛光的重要参数之一,尤其是对晶圆精抛质量的评价更加重要。

晶圆抛光雾指抛光后再晶圆表面留下的微浅损伤缺陷(如高密度的凹坑、小丘和拉丝),该缺陷在强聚光灯照射下产生光的散射给人眼的感觉像雾。常规的雾度测量通过离线的方式来进行测量,但对于生产过程控制来说,十分不利。

真尚有晶圆雾度检测方案,可提供在线实时的雾度检测,能自动对比雾度值并生成雾度图,最终实现了生产过程中雾度在线自动检测。

优点:

1。系统自动对焦

2.微米级缺陷检测能力

3.可定制


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